به‌طورکلی فرایند نفوذ واکنشی حرارتی یک فرایند نفوذی است که در آن اتم‌های عنصر فلزی کاربیدساز از محفظه واکنش به زیرلایه نفوذ کرده و در مقابل اتم‌های کربن از زیرلایه به سمت سطح حرکت می‌کنند. عناصر فلزی کاربیدساز و کربن در سطح زیرلایه واکنش داده و جوانه‌زنی دانه‌های کاربید فلزی اتفاق می‌افتد. برطبق اصول شیمی فیزیک، نیروی محرکه برای فرایند تشکیل لایه کاربیدی تغییرات پتانسیل شیمیایی عناصر نفوذکننده کربن(µ) می‌باشد که در دیگر فرایندهای نفوذی تأیید شده است. .عملیات پوشش‌دهی و عملیات حرارتی سختکاری هـم سـختی سـطح (۲۵۰۰-۳۵۰۰ HV) و هـم سختی مغز قطعه را به میزان قابل‌توجهی افزایش می‌دهد.

.